产品详情
简单介绍:
精密平面磨床RG系列:节约空间、高性能
◦在工件SP、砥石SP中采用了高精度空气轴的高精度回转型超微细平面磨床
◦通过ELID追求镜面精加工的机型
◦采用了工作机用NC,以管理细微变化的切割速度
用途
电子材料用脆性基板的平面加工
详情介绍:
精密平面磨床RG系列
●节约空间、高性能
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加工工件
- 硅晶片、SOI晶片平面磨削
- Ln、Lt晶片的研磨替代平面磨削
- 精密陶瓷晶片的微细平面磨削
- CMG的平面磨削发动机
空气主轴・空气回转台

- 砂轮主轴和工作台采用本公司研发的空气主轴。
- 空气主轴实现高精度、平滑的旋转。
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