产品详情
  • 产品名称:精密平面磨床RG系列

  • 产品型号:RGD20N
  • 产品厂商:NACHI/不二越
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简单介绍:
精密平面磨床RG系列:节约空间、高性能 ◦在工件SP、砥石SP中采用了高精度空气轴的高精度回转型超微细平面磨床 ◦通过ELID追求镜面精加工的机型 ◦采用了工作机用NC,以管理细微变化的切割速度 用途 电子材料用脆性基板的平面加工
详情介绍:
精密平面磨床RG系列                 
●节约空间、高性能
  • 工件SP与砂轮SP采用了高精度空气轴承的高精度旋转式超微细平面磨床
  • 采用ELID技术追求精密镜面磨削的机型。
  • 采用工作机数控(NC),管理精细的进给速度。

加工工件              

  • 硅晶片、SOI晶片平面磨削
  • Ln、Lt晶片的研磨替代平面磨削
  • 精密陶瓷晶片的微细平面磨削
  • CMG的平面磨削发动机

空气主轴・空气回转台

  • 砂轮主轴和工作台采用本公司研发的空气主轴。
  • 空气主轴实现高精度、平滑的旋转。
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