产品详情
简单介绍：
等离子清洗机:600W的小型高输出功率电极可以根据需求进行1、2、3段变更可以处理纵型收纳仓RIE/DP双工作模式切换调谐点记忆功能（选配功能）
详情介绍：
等离子清洗机性能特点：
600W的小型高输出功率电极可以根据需求进行1、2、3段变更可以处理纵型收纳仓RIE/DP双工作模式切换调谐点记忆功能（选配功能）
表面的有机物灰化和材料的蚀刻
实装芯片基板打线前的处理
塑料封装前处理
印刷电路基板镀层前处理
LED关联产品的清洗处理
电子零部件的清洗
光刻胶剥离合表面残留物除去
光学、金属和精密机械部件的清洗包含氟化树脂的树脂类产品表面改质FCC对应
等离子清洗机用途：
各种材料的附着力提高和表面改质处理表面的有机物灰化和材料的蚀刻
实装芯片基板打线前的处理
塑料封装前处理
印刷电路基板镀层前处理
LED关联产品的清洗处理
电子零部件的清洗
光刻胶剥离合表面残留物除去
光学、金属和精密机械部件的清洗包含氟化树脂的树脂类产品表面改质FCC对应
等离子清洗机规格:
| 型号 | PDC610/PDC610G | |
| 模式 | DP/RIE切换方式 | |
| 电极制造 | ||
| 3段平行平板电极 | ||
| 控制方式 | 自动联动液晶触摸屏控制 | |
| 反应室材质 | A5025 | |
| 反应气体 | 2系统(Ar/02) | |
| 充填气体 | ||
| N2/洁净干燥空气 | ||
| 真空泵 | 油回旋真空泵（排气量345L/min） | |
| 外形材质 | 不锈钢 | |
| 电源(50/60Hz) | 3相AC200V/3相200V ~230V | |
| 反应室尺寸 | 600×722×700mm | |
| 高频输出功率 | Max.600W | |
| 频率 | 13.56MHz | |
| 海外规格对应 | FCC规格/FCC/CE规格 | |
