产品详情
  • 产品名称:等离子清洗机

  • 产品型号:PDC200
  • 产品厂商:Yamato/雅马拓
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简单介绍:
等离子清洗机:RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面。
详情介绍:
等离子清洗机特点:
RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面。

等离子清洗机用途:
CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理

型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式(DP选配) DP/RIE切换方式
电极制造 平行平板电极(固定)
频率 13.56MHz
控制方式 自动联动液晶触摸屏控制
反应室材质
反应气体 2系统(Ar/02)
充填气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制 流量计 聚合控制器 聚合控制器
真空泵 另行选配 油回旋真空泵(排气量345L/min) 油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口 反应气体2套、填充气体1套
高频输出功率 Max.300W Max.500W Max.500W
温度设定方式 用上下键进行数码设定
反应室尺寸(mm) 400×250×150 400×250×150 500×300×200
电极尺寸(mm) 250×170 250×170 400×200
外形尺寸(mm) 540×600×600 540×600×600 700×700×700
电源(50/60Hz) 单相AC100V 15A 3相AC200V 15A 3相AC200V 15A
价格: 请问询

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