产品详情
  • 产品名称:等离子清洗机

  • 产品型号:PB1000S
  • 产品厂商:Yamato/雅马拓
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简单介绍:
等离子清洗机 :*适合灰化的DP方式、BS027-N02型装备大型反应室、能对应个性需求、设定简单,自动运行,安全型高、BS027-N03 6寸晶圆对应的灰化处理装置、等离子均匀性高,DF模式、One-touch操作、石英制反应室。
详情介绍:
等离子清洗机特点:
*适合灰化的DP方式、BS027-N02型装备大型反应室、BS027-N01型能对应个性需求、设定简单,自动运行,安全型高、 6寸晶圆对应的灰化处理 装置、等离子均匀性高,DF模式、One-touch操作、石英制反应室。等离子清洗机用途:CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理

等离子清洗机特点:

型号 PB600 PB1000S PA600D
电极构造 对向电极分割方式 纵型圆筒电极方式
频率 13.56MHz(水晶发振)
电力增幅 FET方式 
同调方式 自动&手动
反应室 石英制
处理设定时间 1秒~9小时59分59秒
温度显示 数码显示
真空计 0~1333pa
紧急停止开关 前面按下方式
充气导入口 1个(1/4”SUS Swegelog)
充填气体 N2/干燥空气
控制/显示 联动控制/数码或模拟显示 液晶触摸屏 One-touch数码显示
真空泵 油回旋泵250L/min 油回旋泵700L/min 油回旋泵700L/min
气体导入口 1个(1/4”SUS Swegelog)  2个(1/4”SUS Swegelog)  2个(1/4”SUS Swegelog)
真空排气口 1个(1SUS NW25) 1个(1SUS NW25)  1个 (1SUS NW40)
反应气体 O2  CF4 O2  CF4 O2 Ar CF4  SF6
模式 DP DP DF
高频输出功率 0~600W 100~1000W 60~600W
反应室尺寸 φ250×350mm φ350×550mm 6inch对应
外形尺寸(W×D×H) 500×600×650mm 640×850×1695mm 650×800×1500mm
电源(50/60Hz) 三相200V 15A (AC100V 5A) 三相200V 25A (AC100V 5A) 三相200V 20A (AC100V 5A)
净重 130kg 250kg 150kg
价格: 请问询

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