产品详情
简单介绍:
等离子清洗机:*适合灰化的DP方式、BS027-N02型装备大型反应室、能对应个性需求、设定简单,自动运行,**型高、BS027-N03 6寸晶圆对应的灰化处理装置、等离子均匀性高,DF模式、One-touch操作、石英制反应室。
详情介绍:
等离子清洗机特点:
*适合灰化的DP方式、BS027-N02型装备大型反应室、BS027-N01型能对应个性需求、设定简单,自动运行,**型高、 6寸晶圆对应的灰化处理 装置、等离子均匀性高,DF模式、One-touch操作、石英制反应室。等离子清洗机用途:CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理
等离子清洗机特点:
*适合灰化的DP方式、BS027-N02型装备大型反应室、BS027-N01型能对应个性需求、设定简单,自动运行,**型高、 6寸晶圆对应的灰化处理 装置、等离子均匀性高,DF模式、One-touch操作、石英制反应室。等离子清洗机用途:CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理
等离子清洗机特点:
型号 | PB600 | PB1000S | PA600D |
电极构造 | 对向电极分割方式 | 纵型圆筒电极方式 | |
频率 | 13.56MHz(水晶发振) | ||
电力增幅 | FET方式 | ||
同调方式 | 自动&手动 | ||
反应室 | 石英制 | ||
处理设定时间 | 1秒~9小时59分59秒 | ||
温度显示 | 数码显示 | ||
真空计 | 0~1333pa | ||
紧急停止开关 | 前面按下方式 | ||
充气导入口 | 1个(1/4”SUS Swegelog) | ||
充填气体 | N2/干燥空气 | ||
控制/显示 | 联动控制/数码或模拟显示 | 液晶触摸屏 | One-touch数码显示 |
真空泵 | 油回旋泵250L/min | 油回旋泵700L/min | 油回旋泵700L/min |
气体导入口 | 1个(1/4”SUS Swegelog) | 2个(1/4”SUS Swegelog) | 2个(1/4”SUS Swegelog) |
真空排气口 | 1个(1SUS NW25) | 1个(1SUS NW25) | 1个 (1SUS NW40) |
反应气体 | O2 CF4 | O2 CF4 | O2 Ar CF4 SF6 |
模式 | DP | DP | DF |
高频输出功率 | 0~600W | 100~1000W | 60~600W |
反应室尺寸 | φ250×350mm | φ350×550mm | 6inch对应 |
外形尺寸(W×D×H) | 500×600×650mm | 640×850×1695mm | 650×800×1500mm |
电源(50/60Hz) | 三相200V 15A (AC100V 5A) | 三相200V 25A (AC100V 5A) | 三相200V 20A (AC100V 5A) |
净重 | 130kg | 250kg | 150kg |
价格: | 请问询 |