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简单介绍：
光照射除电装置
对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
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光照射除电装置
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SSD光照射除电装置ISX-224
产品特点：
- 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
- 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
- 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
- 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
- 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。
- 由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
- 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。
- 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝。
除电原理：
产品外观图：
产品规格：
| 型号 | ISXH-224 |
| 除电方式 | 软X射线照射方式 |
| 尺寸 | 38×75×100mm（W×H×D） |
| 光源 | 软X线管 |
| 消费电力 | 100VA |
| 冷却方式 | 自然空冷却式 |
| 材质 | 机体：铝钢板/磨砂 放射口:铍 |
| 质量 | 约0.4kg |
产品用途：
- 电子设备的制造、组装工程。
- 照相机、钟表、精密机械零件的制造、组装工程。
- 食品、化妆品容器等的加工、填充工程。
- 纸张、薄膜(film)、薄板(sheet)类的卷、裁切工程。
- 成型机內的除电。
- 防止附着于Parts feeder等振动制品。
- 防止软片.感光材料之static mark。
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