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  • 产品名称：半导体模具用沟槽加工机

  • 产品型号：AMG62P
  • 产品厂商：NACHI/不二越
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简单介绍：
半导体模具用沟槽加工机：采用了适用于大型导光板模具加工的门形结构 ◦即使长时间加工，热变形的影响也很小，可维持稳定的高精度加工。 具有高平直度、无精度劣化的滑块 ◦X、Y、Z直交3轴全部采用静油**承 ◦通过高平直度与优良的振动衰减性，实现了均衡稳定的镜面加工 ◦通过非接触结构，实现了无精度劣化
详情介绍：
半导体模具用沟槽加工机
●采用适合大型半导体模具加工的门式结构
  • 即使长时间加工，热变形的影响也很小，能够维持稳定的高精度加工。
●高平直度和无精度劣化的滑轴承
  • X、Y、Z 正交3轴全部采用液体静**承。以高平直度和**的振动衰减性能，实现均一稳定的镜面加工。非接触式结构，无精度劣化。
●高精度实现12m/min的高速进给
  • 刨床加工时要求高速进给的X轴采用无铁心直线电动机驱动。通过与液体静**承搭配，高速进给也可维持精度的稳定。
●高精度控制工具的位置
  • 配置在Y轴和Z轴的液体静压螺杆以纳米为单位控制工具的位置。为了高精度的控制工具的角度，刀架安装在静压结构的A轴上。在按槽改变棱镜角度的加工中发挥威力。
●工具C轴（选配）
  • 搭载工具C轴作为刀具旋转轴后，也可进行曲线槽加工。
●适用于飞切加工（选配）
  • 搭载工具主轴后也可进行飞切加工

主要规格(AMG62P)
*大工件尺寸:540×540 (mm)
工件重量：1470(N)以下
型号 X轴 Y轴 Z轴 A轴 工具C轴
*大 750 mm 600mm 100mm 无限转动 无限转动
行程
*高速度 20m/min 20m/min 1m/min 30rpm 60rpm
分辨率 1nm 1nm 0.035m 0.0000275° 0.0001°
轴承类型 液体静压 液体静压 液体静压 液体静压 液体静压
驱动方式 无铁心 无铁心 AC伺服马达 AC AC
直线电动机 直线电动机 + 伺服马达 伺服马达
　 　 液体静压螺杆 　 　
平直度 0.4μm/540mm 0.4μm/540mm 0.5μm/100mm ― ―
（垂直面内）

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