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  • 产品名称:测量显微镜

  • 产品型号:STM6-LM
  • 产品厂商:OLYMPUS/奥林巴斯
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简单介绍:
测量显微镜 显微镜拥有亚微米级的精度,实现了优异的通用性,可对各种零部件和电子元件进行高性能的三轴测量。低倍率选项使之成为精密工具制造者的理想选择。
详情介绍:
测量显微镜

充分利用空间的电气系统一体型机体

电气系统一体型机体
电气系统一体型机体
着重考虑了仪器的空间利用性和操作方便性,在机体内组装了电气系统,实现了计数器一体型机体。此外,在机体上内置了RS232C数据通信接口,向电脑传送数据和连接打印机等外部设备变得更加容易。不仅如此,还可以使用表计算软件,将电脑读取的数据存到数据库。
 

带离合器的大型载物台,能够快速进行大范围检查

带离合器的大型载物台
带离合器的大型载物台
搭载了250 mm×150 mm大测量范围的载物台。X、Y轴的驱动装置采用了离合器控制机构,只使用一个控制杆就能快速切换粗调和微调。载物台的随意伸缩,实现了大型样品的快速检查。另外,还可以在载物台上放置多个样品从而进行连续测量。
 

高精度和耐用性

 

历经时间考验的高刚性机体和载物台

FEM分析
FEM分析
刚性对于测量仪器的精度保持是*重要的,为了长时间维持仪器的精度不变,奥林巴斯开发出了坚固、不变形的高度刚性机体和载物台。在导轨上采用了能得到高直度的线性引导机构,还内置了**的光栅尺,确保了仪器精度的可靠性。
 

光栅尺实现了亚微米级的分辨率

光栅尺
光栅尺
光栅尺的精度直接影响测量显微镜的精度。奥林巴斯采用**的高精度光栅尺读取系统将光学信息转化为电信息来准确测量。此外,奥林巴斯还根据阿贝定理(需要测量的长度和标尺,在其测量方向上并排成一条直线时,误差*小)确定标尺的内置位置,*大程度的减少了误差。
 

国际标准的溯源体系

为了实现高精度的产品质量,从制造到装配的每一个阶段,奥林巴斯都配备了日本国内**的生产环境。在管理严格的恒温工厂中,技能娴熟的员工精密加工仔细挑选的原材料,精心打造每一件产品。此外,从零部件到成品,所有的生产步骤都实行了严格的溯源体系管理。

测量显微镜溯源体系图
测量显微镜溯源体系图

 

注重操作性的机体设计

 

快速完成Z轴测量的电动调焦机构

采用了电动调焦机构,大幅度提高了调焦和测量高度、深度时的操作性能。使用Z控制器可以轻松切换粗调和4个级别的微调(800、400、200、50 μm),在很大程度上减轻了工作疲劳。

Z轴控制器
Z轴控制器
  1. 电动调焦按钮(上下移动)
  2. 自动对焦按钮
  3. 设置按钮,用于设置上限和下限
  4. 停止自动对焦按钮
  5. Z轴重设按钮
  6. 调焦手柄
  7. 数据输出按钮
  8. 粗调/微调转换按钮
 

配置在易于观察位置上的计数器

计数器
计数器
计数器与显微镜机身一体化,它的显示器部分与观察员的视线几乎等高,易于观察。稍微移动视线就可以确认测量值,便于集中精神观察样品、调节样品位置。
 

提高边缘检测能力、外观检查能力的UIS2光学系统和LED照明

采用了有着高分辨率和高对比度的UIS2光学系统,以及能真实的再现样品色彩、并且色调不受照明亮度影响的LED照明。这种设计大幅度提高了边缘的可见性和测量能力、外观检查能力。此外,LED照明不会出现灯光闪烁不定和亮度变化,能减轻长时间工作时的眼部疲劳。

白色LED
白色LED
卤素灯
卤素灯
 

考虑了人眼分辨能力的米字线,使位置调节变得简单

米字线
米字线
在测量显微镜中如何正确的对准测量物体和米字线是很重要的。直线校准时,与使用一根直线相比,使用米字线和虚线能得出更为正确的结果。奥林巴斯分析了人眼的这种特性和人眼的分辨能力,在焦面板上加入米字线和虚线,提高了对准的精度。
 

重复性好的调焦系统

 

易于追加的高精度自动调焦系统

搭载了一键对焦和跟踪对焦两种模式。需要谨慎而细密的操作才能完成的目视测量高度和深度,通过灵活运用操作模式可以实现自动化。这样,不仅消除了因个人差异产生的偏差,还能够手不离开XY手柄完成观察,大幅度提高了Z轴测量的效率。而且,因为属于中间镜筒类型,所以能够购买之后续订安装。

【一键对焦模式】
在粗略对焦状态下进行自动调焦,能在一瞬间将焦点对准视场中心。

【追踪对焦模式】
在追踪焦点位置的同时,始终保持对准焦点的状态。测量时不需要重新调焦,提高了工作效率。

不同物镜的自动调焦性能一览表
物镜 再现性能(2σn-1)※1 点直径※2
LMPLFLN20× 2µm ø5µm
LMPLFLN50× 1µm ø2µm
LMPLFLN100× 1µm ø1µm

*1 本公司标准样品得出的值。
*2 计算得出的理论值。

 

只要将图标的偏离对齐,就能高精度测量样品高度的辅助聚焦系统

用于10×~50×物镜,对应反射明视场和反射暗视场观察。通过对齐投影在样品上的图标上下偏移,完成对高度的测量。与目视对焦相比,提高了重复性,减小了因个人差异产生的测量偏差。能对应多种样品的图标易于对焦,大幅度缩短了测量时间。

辅助聚焦系统示意图
前焦点位置
前焦点位置
焦点位置
焦点位置
后焦点位置
后焦点位置
 

扩展观察和测量范围的附件

 

反射照明单元

反射照明单元
反射照明单元
备有3种反射照明单元,能对应多种测量范围。对应测量物镜和使用物镜转换器的金相物镜,可以用于明视场、暗视场和微分干涉观察。可以根据用途追加单元,升级系统。
 

旋转载物台

旋转载物台
旋转载物台
易于对样品进行平行校准。
 

白色LED照明单元

白色LED照明
白色LED照明
白色LED光源不会出现灯光闪烁不定和亮度变化,寿命长、省电、小型轻巧、性价比高。
 

可以分为4个独立照明的LED照明装置

可以分为4个独立照明的LED照明装置
可以分为4个独立照明的LED照明装置
以高色温提供清晰影像的反射LED环形照明。可以分为4个独立的照明部分。共有13种照明模式,可以按需选择*合适的照明模式。

 

 

 

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
大尺寸测量显微镜 STM6-LM 规格
光学系统 UIS2光学系(无限远校正)
机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光
反射/透射 反射/透射
照明系统 10 WLED白色照明(反射照明用),10 WLED绿色照明(透射用)
对焦单元 电动/手动 电动
行程 205 mm
粗调速度 4.8 mm/sec
微调速度(可选) 800 μm/400 μm/200 μm/50 μm (旋钮旋转一周) 四个级别
*大样本高度 205 mm(金相物镜),150 mm(测量物镜)
Z轴测量范围 205 mm(金相物镜),150 mm(测量物镜)
物镜 测量物镜/金属物镜
镜筒 正像单目观察筒,正像三目观察筒(100:0/ 0:100 )
载物台 行程 250(X)x150(Y)mm
测量精度 X轴:(3+5L/250)μm,Y轴:(3+3L/150)μm[L:测量长度(mm)]
计数器 *小读数分辨率 0.1 μm/0.5 μm(可选)
选件 运算装置/自动调焦/辅助对焦
外形尺寸 684(W)x579(D)x843(H)mm
重量 170 kg(标准组合)

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