产品详情
简单介绍：
超精密表面精加工机：支持多层化基板和CSP封装等复合材料的切断、单片化的高功能型切片机
◦也可支持大型基板的长行程规格
◦各轴均采用了直线导轨，实现了高速化
用途
电子、光学部品的精密沟槽加工、切断加工
详情介绍：
超精密表面精加工机
加工实例
结果
(2)表面粗糙度（Ra）
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工件
尺寸： 56×2.5×11（mm）
材质： 石英玻璃
加工条件
| 工序 | **工序 | **工序 | 第三工序 |
| 杯状研磨 | 杯状研磨 | 研磨带抛光 | |
| （粗加工） | （半精加工） | （精加工） | |
| 进给量 | 400μm | 100μm | － |
| 冷却液 | 水溶性研磨液 | 自来水喷雾 | |
| 加工时间 | 55秒 | 110秒 | 225秒 |
| 共计390秒＝6.5分 | |||
结果
测量机：Form Talysurf(Taylor-Hobson公司生产)
(1) 形状X轴方向的形状 0.39μm/56mm ↓ 0.1μm以下/10mm（换算值） |
Z轴方向的形状 0.49μm/2.5mm |
(2)表面粗糙度（Ra）
X轴方向的表面粗糙度 0.003μmRa |
Z轴方向的表面粗糙度 0.002μmRa |
用途实例
光纤通信部品连接面的加工
- 硬盘驱动装置（HDD）的磁头和液晶玻璃等
研磨后需要进行抛光处理的部位。
| 工件尺寸 | *大工件 | 100×15mm |
| （宽×厚） | （工件尺寸另行商议） | |
| X轴工作台 | *大行程 | 485 mm |
| *快进给速度 | 18,000 mm／min | |
| Y轴工作台 | *大行程 | 135 mm |
| *快进给速度 | 1,800 mm／min | |
| Z轴工作台 | *大行程 | 50 mm |
| *快进给速度 | 900 mm／min | |
| 磨石主轴 | 转数 | 3000 ～ 24000 min-1 |
| 轴承类型 | 空气轴承 | |
| 研磨带抛光装置 | 研磨带宽度 | 宽152.4 mm |
| 研磨带长度 | 20 m | |
| （滚筒式） | ||
| 带卷绕类型 | 自动卷绕 | |
| 主机重量 | 1,700 kg | |
| 主机尺寸（宽×深×高） | 1035 × 1380 × 1655 mm | |
外形尺寸（单位mm）
